Официн, С. И. Физико-технические основы микро- и наноэлектроники [Текст] / С. И. Официн // Физика в школе. - 2010. - N 7. - С. 51-53 : 2 рис. - Библиогр.: с. 53 (5 назв. ) . - ISSN 0130-5522
Рубрики: Образование. Педагогика Методика преподавания учебных предметов Кл.слова (ненормированные): пленочные интегральные схемы -- технологические процессы -- микроэлектроника -- резисторы -- общеобразовательная школа -- физические эксперименты -- преподавание физики -- обучение физике -- демонстрационные эксперименты -- диэлектрические пленки -- наноэлектроника -- металлизированные пленки Аннотация: Описание демонстрации технологических процессов создания пленочных интегральных схем. |